半導体関連事業
世界をもっと便利に
デジタルテクノロジーが暮らしと社会を急速に進化させている現代。
半導体関連事業は、電子ビーム技術を活かした半導体の寸法測定等の技術を提供しています。
中でも主力製品のCD-SEMは今や、高機能化と小型化が進むパソコンやスマートフォン、デジタル家電を支える半導体の回路原板（フォトマスク）の高度化・安定化に不可欠のものとなっています。
今後は世界でもトップクラスのテクノロジーをデジタル社会の進化のためにさらに結集。
研究開発、製造、販売、保守・メンテナンスの連携を強化し、産業・社会の期待に応えていきます。
半導体関連事業の強み
顧客
国内外の大手半導体メーカー、フォトマスクメーカーを顧客に、グローバルに市場を広げています。
ノウハウ・技術力
半導体市場のトレンドや最先端顧客ニーズを取り入れながら、長年培った技術をさらに進化させ続けています。
将来性
今後、暮らしと社会のすみずみまでIoTが普及することが予測され、半導体関連産業にはさらなる発展が期待されています。
半導体関連事業は株式会社エー・アンド・デイ、株式会社ホロンの事業領域です。
半導体 - フォトマスクの寸法測定装置
微細な回路パターンの寸法測定に最適な電子ビーム技術
株式会社ホロンでは、小型化及び高機能・高性能化が進むパソコンやスマートフォン、デジタル家電などの機器に不可欠な半導体の回路原版(フォトマスク)が、設計通りに正しく作られているかを寸法測定するCD-SEMを主力製品としています。
また、近年はEUVリソグラフィを用いた最先端半導体の製造においても当社の分析SEMが不可欠な装置となってきています。
急速な進化をつづける半導体およびナノテクノロジー産業の一翼を担うべく、研究開発方針、製造・販売、保守・メンテナンスの連携を強化し、最適なサービスを提供してまいります。
半導体 - 超微細加工と制御
電子ビーム露光装置に組み込む基幹ユニットの提供
株式会社エー・アンド・デイでは、電子ビームを発生させる電子銃の開発に早くから取り組んでおり、世界でもトップクラスの出力と安定性稼働率を備えた製品を送り出しています。
ナノスケールの観察測定が可能な電子顕微鏡や、ナノスケールの加工に利用する電子ビーム微細加工装置などへ応用可能で、その用途はますます拡大しています。
今後もさらなる微細化に対応するための開発を継続して、高性能化と用途の拡大を目指し、積み重ねてきたテクノロジーで半導体産業をはじめとした最先端産業の発展を支えてまいります。